局部多孔质气浮输运的气膜特性及控制策略研究
玻璃基板的大型化、薄型化趋势要求其在输运过程中必须采用无摩擦非接触的方式以确保表面无损伤.局部多孔质气浮输运凭借其清洁无污染、不发热、不生磁等优势,成为非接触式输运领域的主流.然而,基于多孔质流动规律的气膜特性理论模型的匮缺在很大程度上限制了技术的发展.本项目旨在研究局部多孔质气浮输运系统的气膜静态特性和动态特性,并在此基础上研究悬浮间隙控制策略,为该类非接触式输运系统设计提供理论指导.
玻璃基板 局部多孔质气浮输运 气膜特性 间隙控制
钟伟
江苏科技大学
国内会议
沈阳
中文
89-89
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）