半浮栅图像传感器

摘要：

最近有一种新型器件结构——半浮栅器件被用于动态存储器,而基于这种器件结构可以衍生出半浮栅感光器件,该器件在原理上比传统的有源像素传感器具有更大的填充因子.本文介绍了使用TCAD软件来模拟用半浮栅新概念制作的感光器件，可以发现这种器件在不同光照强度下的起到了active sensor的作用，将继续对其做进一步的分析和研究。

关键词： 图像传感器 设计理念 半浮栅器件 光照强度

作者: 吴俊 王鹏飞

作者单位: 微电子学院,复旦大学,上海200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 114-115

在线出版日期: 2016-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）