基于CMOS-MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器仿真和制备

摘要：

基于KOH腐蚀工艺设计并制作了双凸台结构的微型热电能量采集器.建立器件的数学模型,分析凸台结构的几何参数对器件输出性能的影响.从工艺上证明,基于CMOS-MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器可以实现低成本大批量地加工和制备.

关键词： 热电能量采集器 凸台结构 几何参数 CMOS-MEMS技术

作者: 吴利青 徐德辉 熊斌

作者单位: 微系统技术重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 116-119

在线出版日期: 2016-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）