基于开环温度控制的N++体模态谐振器极小温漂研究

摘要：

本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++”100”晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到频率转折点附近,谐振器在该转折点时工作时温度系数接近于零.基于微型恒温结构相邻的测温电阻与开环控制的多项式拟合算法能初步实现25℃到65℃区间谐振器的谐振频率稳定在±0.8ppm以内.

关键词： 谐振器 恒温加热 温度稳定性 测温电阻 开环控制

作者: 游卫龙 张磊 王小飞 杨力建 杨恒 李欣昕

作者单位: 传感技术国家重点实验室,上海微系统与信息技术研究所,上海,20050 微电子学院,复旦大学,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 234-237

在线出版日期: 2016-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）