高纯氨的直接合成
高纯氨在以GaN为基础的蓝绿光LED芯片制造中扮演着关键原材料的角色,虽然它在GaN外延片中只占4％左右的成本.不同于其他原材料,高纯氨跟整座LED外延片工厂的运行密切相关,也就是说,一旦高纯氨出现质量问题,可能会影响到所有MOCVD机台的运行,存在着全局性的风险.从一定的视角看,高纯氨是GaN LED芯片制造中最关键的原材料.合成法的一个优点是：工艺过程中的纯度检测相当简单，只要检测H2和N2的纯度就行，则可以通过露点温度的测量来实现。只要保证露点的稳定、可靠，就可以保证高纯氨的品质，因此合成法获得高纯氨的品质很稳定。的产品至今没有出现过质量问题。尾气用于制造高纯氨还有一个额外的好处，使用尾气制取的高纯氨数量大约是使用量的两倍，原因在于：尾气中的H2和N2主要来自于载气，它们也是合成高纯氨的原材料。
高纯氨 合成工艺 纯度检测 产品质量
鲍坚仁
湖南高安新材料有限公司,湖南 414009
国内会议
苏州
中文
167-168
2015-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）