Si(111)衬底立方相AlN形成机制研究

摘要：

二元氮化物根据四面体中原子的排列顺序不同,可将晶体结构分为三种:纤锌矿结构(WZ),闪锌矿结构(ZB)和岩盐矿结构.其中六方纤锌矿Ⅲ族氮化物为稳定结构,在通常生长条件下为主要晶相.在生长Si(111)衬底AlN的过程中,出现了立方相AlN,通过研究材料生长工艺对薄膜中立方相AlN含量的影响以及引入立方相AlN后体系能量的改变,分析了决定立方相AlN形成的机制及主要因素.

关键词： 氮化铝薄膜 立方相 生长工艺 生成机制

作者: 冯玉霞 魏鸿源 杨少延 杨学林 沈波

作者单位: 北京大学物理学院,北京,100871;中国科学院半导体研究所,北京,100083 中国科学院半导体研究所,北京,100083 北京大学物理学院,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 180-180

在线出版日期: 2015-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）