火山口型纳米图形化蓝宝石衬底制备及光提取效率研究

摘要：

目前,图形化蓝宝石衬底(PSS)广泛应用于GaN基发光二极管(LED)的生产.它能够同时提高GaN基LED的内量子效率(IQE)和光提取效率(LEE).有报道指出,火山口型PSS(VPSS)具有更多的侧面面积和侧向生长面积,相比于圆锥型PSS而言,具有更高的光提取效率.采用纳米压印与湿法腐蚀相结合的方法制备VNPSS，并且探究了VNPSS的形成过程。VNPSS晶面的形成受到热力学过程和表面反应过程的共同作用。所制备的VNPSS，其形成的晶面有利于光的提取。而且，相对于圆锥型和圆台形的NPSS而言，VNPSS在生长GaN的过程中具有更大面积的侧向生长，更容易形成空洞，进一步增加光提取效率。

关键词： 图形化蓝宝石衬底 制备工艺 纳米压印 光提取效率

作者: 蒋盛翔 陈志忠 冯玉龙 焦倩倩 严通行 张立胜 李俊泽 李诚诚 陈怡帆 于彤军 张国义

作者单位: 北京大学物理学院,人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京 100871 北京大学物理学院,人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京 100871;东莞市中镓半导体科技有限公司,东莞,523500

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 220-221

在线出版日期: 2015-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）