基于聚合物光波导的F-P干涉型传感器件研究

摘要：

本文设计并制作了一种基于聚合物光波导的Fabry-Perot(F-P)干涉型传感器件.在SiO2衬底上,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导两侧包层,SU-82005紫外负性光刻胶作为波导芯层,采用传统的半导体制备工艺完成了器件的制备.同时,用光学显微镜对聚合物光波导、微流控通道以及储液池的表面形貌进行了表征.通过向微流控通道内注入牛血蛋白溶液,并采用基于Laboratory Virtual Instrumentation Engineering Workbench(LabView)的集成光波导器件自动测试系统对器件进行了测试,测得器件在滴加牛血白蛋白溶液前后有约5dB的光功率变化,同时对器件的稳定性能进行了测试,测试结果表明,该器件具有较好的稳定性.

关键词： 光传感器 制备工艺 表面形貌 稳定性能

作者: 姜明慧 孙仕琦 孙静雯 李德辉 郑伟 王希斌 张大明

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012;集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130012 吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012;集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130012;吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室,长春,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国塑料光纤·聚合物光子学学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 119-125

在线出版日期: 2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）