新兴工业材料加工用金刚石工具

摘要：

本文简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述.

关键词： 单晶硅 多晶硅 蓝宝石 金刚石工具 加工工艺

作者: 刘一波 徐良

作者单位: 中国钢研科技集团有限公司,北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司,北京 102200

会议类型: 国内会议

会议名称: 第9届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会

会议地点: 辽宁通辽

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2015-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）