浅谈真空漏率校准装置

摘要：

真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.介绍了真空漏率校准装置的工作原理,技术方案,校准步骤及安全操作事项.

关键词： 真空漏率 校准装置 工作原理 技术方案 校准步骤 安全操作

作者: 刘兴胜 解永蓉 郑颖

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会、山东电子学会第十七届电子测量与仪器学术年会

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 121-124

在线出版日期: 2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）