关键词： 复合薄膜成分 能谱
作者: 闰允杰 唐国翌
作者单位: 大学国家教委先进材料开放实验室(北京) 科学院电子研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十次全国电子显微学会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 255～256
在线出版日期: 1998-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）