电容式复合介质膜湿敏元件研究

摘要：

提出了一种新型电容式复合介质膜湿敏元件，该组件介质膜是由线性输出、湿度特性取向不同的两类感湿介质膜(CAB,PI)互补复合而成的。试验表明，该复合介质膜湿敏元件具有优异的线性输出，其温度系数、重复性也有明显改善。

关键词： 复合薄膜 补偿 非线性 温度系数 湿敏元件

作者: 卢崇考 周明军

作者单位: 信息产业部电子第49研究所(黑龙江哈尔滨) 信息 产业部电子第49研究所(黑龙江哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 95～98

在线出版日期: 2000-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）