全透明Ｘ射线移相光刻

摘要：

对全透明Ｘ射线移相光刻的原理进行了论述，提出了两种全透明Ｘ射线移相光刻方式，是后对它进行了初步的实验研究。

关键词： Ｘ射线光刻 同步辐射 移相

作者: 谢常青 叶甜青 孙宝银 赵玲利 李兵

作者单位: 科学院微电子中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 383～385

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）