基于MATLAB的硅各向异性全腐蚀速率图

摘要：

本文利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.

关键词： 腐蚀速率 各向异性 MATLAB MEMS 微电子机械系统 数学模拟软件

作者: 张佩君 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 131-133

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）