硅烷法棒状多晶硅工艺控制
本文从表观及硅粉、冷却系统、洁净及安全控制等方面进行了探讨，通过试验验证提出了这几方面的主要控制要点，基本满足棒状多晶硅的生长要求。硅烷法生产多晶硅具有高纯、高效、清洁的优点，具有很大发展潜力，也是目前多晶硅技术发展的主要方向之一。硅烷法棒状多晶硅工艺中，需兼顾品质、安全、能耗，目前规模化硅烷法多晶硅技术还处于探索阶段，需要行业相关企业、技改进一步探索优化，早日实现区熔级多晶硅的批量国产化。
半导体材料 棒状多晶硅 硅烷法 工艺控制
姜海明
内蒙古神舟硅业有限责任公司
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2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）