多晶硅铸锭硬质杂质控制方法探索

摘要：

设计了可实现区域强化打磨处理的自动回炉料打磨设备，强烈推荐强制对流辅助生长多晶技术，开发了改进型氮化硅涂层粘合剂和强化氮化硅涂层技术。

关键词： 多晶硅 铸锭工艺 打磨设备 强制对流 氮化硅涂层 杂质控制

作者: 尹长浩

作者单位: 南京工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 徐州

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）