多晶硅流化床法颗粒壁面沉积规律与控制的数值研究
流化床法目前需要解决几个方面技术问题，包括硅烷异相沉积在壁面上造成原料损失及传热效率降低,甚至增加爆炸风险;沉积过程各个环节都可能会引入杂质;形成机理尚有争议,硅粉形成易造成管道阻塞,原料损失;流态化控制不好易导致大气泡及节涌现象产生,降低流态化稳定性并导致大量硅粉生成.
多晶硅 流化床法 颗粒壁面 沉积规律 流态化控制
杜少华 刘立军
西安交通大学能源与动力工程学院
国内会议
徐州
中文
1-20
2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）