金刚线切割多晶技术及评价指标
金刚线切割多晶制绒问题的解决，实现了金刚线代替砂浆的可能性，也带来了金刚线爆发式需求和增长。由于成本及效率的推动，金刚线切割多晶工艺越来越苛刻，希望与金刚线厂家共同协作开发更适合切割多晶的金刚线。通过对金刚石线的研究分析发现，控制及优化金刚石的颗粒数量、出刃高度及分布、堆积直径及分布这些关键指标可提升金刚线的切割能力及稳定性。
多晶硅片 金刚石线 切割工艺 稳定性
余刚 陈世波 刘瑞鸿 孙培亚
国内会议
徐州
中文
1-27
2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）