超高产能ALD技术的高效电池产业化

摘要：

ALD是一种基于饱和表面反应的化学气相薄膜沉积技术，参与化学反应的前驱物被分别导入反应器，通过多次重复循环反应生成以原子层厚度增长的薄膜材料。重点对这项技术的产能，成膜质量，TMA耗量，维护周期，钝化效果，运营成本以及综合成本进行了研究。

关键词： 电池产业 化学气相薄膜沉积 成膜质量 维护周期 成本分析

作者: 黎微明 李翔

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 徐州

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）