晶硅铸锭中的控制工艺优化

摘要：

本文讲述了晶硅铸锭中常见问题，优化热场结构对DS过程至关重要，总结出了晶硅铸锭过程中可以通过调节控制工艺的方式，从而控制热场使得固液界面平整、热应力小、长晶速率快这三个目标同时实现等方面的结论。

关键词： 晶硅铸锭 控制工艺 热场结构 热应力 长晶速率

作者: 党一帆 刘立军

作者单位: 西安交通大学能源与动力工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 徐州

会议语种:中文

页码: 1-21

在线出版日期: 2017-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）