多晶硅氯硅烷残液中六氯乙硅烷的提取分离研究
本文讲述了提取分离工艺路径,提取分离实验过程,组分检测分析,总结出了从分离后瓶底残留气相色谱分析中看出,仍含有10%的六氯乙硅烷,其它高沸点的物质为链状或环状聚硅烷,因此需要采取措施进一步将六氯乙硅烷全部分离出来等方面的结论。
六氯乙硅烷 提取分离工艺 气相色谱分析
贺珍俊
内蒙古神舟硅业有限责任公司
国内会议
徐州
中文
1-14
2017-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
六氯乙硅烷 提取分离工艺 气相色谱分析
贺珍俊
内蒙古神舟硅业有限责任公司
国内会议
徐州
中文
1-14
2017-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)