多晶硅制备过程中三氯氢硅精馏品质和产量提升的研究

摘要：

本文主要介绍了研究的背景，综述，三氯氢硅精馏工艺的模拟优化，三氯氢硅精馏系统洁净对产品质量的影响等内容。

关键词： 多晶硅 制备过程 三氯氢硅 精馏品质 产品质量

作者单位: 江苏中能硅业科技发展有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-39

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）