先进控制在三氯氢硅精馏过程中的应用

摘要：

介绍了三氯氢硅精馏工序工艺简介，三氯氢硅精馏工序的先进控制，先进控制的实现，项目实施效果，内蒙古神舟硅业有限责任公司(以下简称神舟硅业)多晶硅生产过程采用的是改良的西门子法工艺,该工艺主要包括三氯氢硅的合成、三氯氢硅的精馏提纯、三氯氢硅的氢还原、尾气的回收和四氯化硅的氢化等5个环节.

关键词： 多晶硅 生产工艺 三氯氢硅 精馏过程

作者单位: 内蒙古神舟硅业有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-30

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）