N型离子注入太阳电池退火温度对发射极质量的影响

摘要：

介绍了试验流程晶格损伤表征J0e,VASE,Raman硼硅团簇模拟高温退火对衬底材料的影响总结，优点:简化工艺流程,降低成本.可实现更精确的掺杂控制,便于制作复杂结构的新型高效电池.

关键词： 太阳电池 离子注入 退火温度 发射极质量

作者: 祝方舟 卞剑涛 刘正新

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院大学 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-10

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）