金刚石切割多晶硅片气相刻蚀制绒技术及其电池应用研究进展

摘要：

金刚线切割多晶硅片常规酸性湿法制绒问题减反射效果不足切割纹依然可见VE制绒技术研发进展简介机理:蒸气凝结微液滴刻蚀(Semiconductor Sci.Tech.2016,Mater.Sci.Semiconductor Process,2016)控制条件:基本掌握开发路线:单片→500片/hr→3000片/hr计划一年完成.目前完成单片装置和初步实验

关键词： 多晶硅片 切割工艺 金刚线 酸性湿法制绒

作者: 肖志刚 岳之浩 陈文浩 李妙 周浪 金善明 宫龙飞 阮文娟 吉鑫 李鹏鲲

作者单位: 南昌大学光伏研究院 苏州协鑫光伏

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-15

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）