如何有效降低多晶硅还原炉中硅棒内部温度梯度

摘要：

介绍了研究背景及意义国际上太阳能级多晶硅生产的工艺主要有:改良西门子法、硅烷流化床法和冶金法.一、课题研究背景及意义国际上改良西门子法生产商普遍采用的是立式钟罩型多晶硅还原炉;经过精馏提纯后的三氯氢硅和氢气在反应器内发生化学气相沉积(CVD)过程是改良西门子工艺的关键工段,电耗占整个生产过程能耗的的60％以上.

关键词： 多晶硅 还原炉 硅棒 温度梯度

作者: 侯彦青 聂陟枫

作者单位: 昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）