森松多晶硅技术(CVD)介绍

摘要：

介绍了还原炉，还原模块，技术服务，优势，随着中国多晶硅行业蓬勃发展，森松依托自身强大的研发团队、丰富的化工设备及工艺系统模块的研发经验，连续研发了完全拥有自主知识产权和专利的还原炉系列，由最初的12对棒还原炉到现在的48对棒的新型还原炉（SMS-300、SMS-500、SMS-700），还原炉在中国多晶硅市场中占有率达80％。这三个指标相互关联，需要寻找平衡点，如何解决产量、电耗与表面质量的矛盾。

关键词： 多晶硅 还原炉 表面质量 电能消耗

作者: 黄小华

作者单位: 森松集团 中国

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-34

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）