推动中国高效异质结电池产业化崛起:先进臭氧清洗,ICP-PECVD及PVD关键设备

摘要：

SINGULUS TECHNOLOGIES AG 2 HJT Solar Cell Process Flow 3 SILEX Ⅱ CLEANTEX 4 SINGULAR-HET 5 GENERIS PVD History SINGULUS TECHNOLOGIES SINGULUS TECHNOLOGIES Headquarters in Kahl/Germany，SINGULUS TECHNOLOGIES Manufacturing Location in Fürstenfeldbruck/Germany，Based on ICP-PECVD* enabling fast but soft deposition?Coating 2 x passivation and 2 x doped layers in 1 x run without vacuum break。

关键词： 太阳能电池 异质结 臭氧清洗

作者: 张振昊

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-30

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）