40MHz0.3秒快速稳定的异质结钝化层沉积核心量产设备

摘要：

异质结电池钝化层沉积对设备的要求钝化层很薄,膜层的工艺时间很短钝化效果好,低损伤高开机率,高产能设备稳定重复,特别是RF射频系统40MHz甚高频0.3s等离子体快速稳定设备及托盘免日常人工维护,快速方便核心反应腔7年,客户方3年,零RF问题。

关键词： 太阳能电池 异质结 钝化层沉积 量产设备

作者单位: 上海理想万里晖薄膜设备有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）