C-V法分析本征非晶硅薄膜钝化晶体表面的特性

摘要：

介绍了目前人们对非晶硅表面钝化本质的认识在半导体物理方面多限于钝化后硅片少子寿命的提高以及由此推算所得表面复合速率的大小,认为这还不能清晰解答钝化作用的本质,因为钝化薄膜的作用包括对悬挂键的减少以及表面固定电荷的变化等多种机制.

关键词： 非晶硅薄膜 钝化工艺 少子寿命 悬挂键

作者: 龚敏刚 黄海宾 田罡煜 肖友鹏 高超 邓新华 周浪

作者单位: 南昌大学 光伏研究院,江西南昌,330031;南昌大学 理学院,江西南昌,330031 南昌大学 光伏研究院,江西南昌,330031 南昌大学 理学院,江西南昌,330031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）