硅烷流化床法还原多晶硅过程的数值模拟

摘要：

介绍了研究背景，模型简介，结果分析，结论，硅烷流化床法硅烷流化床技术以下特点”1””2”:反应温度低(575℃～685℃);还原电耗低(SiH4热分解能耗降至10kWh/kg,相当于西门子法的10％);沉积效率高,理论上转化率可以达到100％;反应副产物(H2)简单易处理;连续运行,产量高、维护简单.

关键词： 多晶硅 还原过程 硅烷流化床法 数值模拟

作者: 杜少华 刘立军

作者单位: 西安交通大学能源与动力工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 浙江嘉兴

会议语种:中文

页码: 1-17

在线出版日期: 2016-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）