Residual Stress Measurement on Hard Coatings bycombining Nanoindentation and Average X-ray Strain(AXS)technique

摘要：

Outline Introduction Objective Theoretical Basis Experimental Procedures Results and Discussion-Strain Anisotropy on thin films and its Influence-Accurate stress measurement-Thickness Limit

作者: 黄嘉宏 王安妮 喻冀平

作者单位: 國立清華大學工程與系統科學系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:英文

页码: 41-46

在线出版日期: 2016-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）