射频感性耦合C4F8等离子体的离解和电离机制

摘要：

介绍了射频感性藕合C4F8等离子体的离解和电离机制;F、CxFy和离子等活性粒子及其比例的演化规律;初级与次级反应、背景气体的充裕性、EEDF高能电子的演变、以及各离解与电离反应阈值能量的差异性;从侧面反应器壁敦化薄膜沉积对内部活性粒子特性的影响;将来工作是在上述模型中考虑器壁敦化薄膜形成和消耗机制。

关键词： 碳氟等离子体 射频感性耦合 离解机制 电离机制

作者: 高飞 赵书霞 王亚萍 王友年

作者单位: 大连理工大学 大连理工大学物理与光电工程学院 大连理工大学射频等离子体模拟与实验研究团队

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-26

在线出版日期: 2015-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）