脉冲调制射频放电的亚稳态、气体温度、斑图研究

摘要：

本文进行了同轴电极脉冲调制射频放电中亚稳态研究、脉冲调制射频辉光放电中气体温度(Tg)研究和脉冲调制射频放电中自组织斑图机理研究。

关键词： 射频放电 脉冲调制 亚稳态 气体温度 自组织斑图

作者: 王奇 王德真 丁洪斌

作者单位: 大连理工大学,物理与光电工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 2015-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）