低气压射频容性耦合等离子体中的电子加热机制
射频放电中，当气压较高时，欧姆加热维持放电;当气压较低时，无碰撞加热(或随机加热)起主导作用。在容性放电中，当电极间隙和驱动频率满足共振条件时，会出现共振加热现象，高能共振电子会增强等离子体密度以及发光强度，对等离子体诸多性质有重要影响。在电正性Ar放电中，放电模式可以在α-模式与γ-模式之间转变。在电负性气体放电中，放电模式可以在鞘层加热模式(或α-模式)与体区加热模式(或DA-模式)之间发生转变。实验上第一次观察到了强电负性气体放电中的多层激发现象，这与以前人们观察到的双层现象非常不同。
等离子体 电子加热 射频放电 容性放电 耦合效应
刘永新 高飞 王友年
大连理工大学 物理与光电工程学院 射频等离子体模拟与实验研究团队
国内会议
成都
中文
1-35
2015-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）