X光电子谱(XPS)在金属清洗效果检测中的应用

摘要：

该文运用Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）手段，分别对使用山东大学光电材料与器件研究所研制的精密金属零件清洗济ＪＭ－１和传统清洗剂三氯乙烷（ＴＣＡ）清洗过的精密金属零件阳极帽和电子枪零件进行表面分析，比较测试结果，发现清洗剂ＪＭ－１比三氯乙烷（ＴＣＡ）的清洗效果要好，清洗剂ＪＭ－１可以替代传统的三氯乙烷（ＴＣＡ）清洗精密金属零件工艺。

关键词： X光电子谱 表面分析 清洗剂 清洗

作者: 刘建强 李玉香 刘万里

作者单位: 大学光电材料与器件研究所 庄宝石电子集团元件厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会生产技术学分会理化分析专业委员会第六届年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 25～27

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）