软刻蚀法制备微电极阵列自组装基元

摘要：

构筑规则排列的微电极阵是实现高灵敏、高通量和简便易行的分析方法之一,一直是分析化学及相关学科追求的目标,也是生命科学、能源环境、公共卫生和疾病诊断等领域对分析化学提出的要求.微电极阵列因为信噪比高、易于阵列化等优点,是满足以上要求的最主要途径之一,但是目前规则排列的微电极阵列因为制备步骤繁琐、所需仪器昂贵,因此方法难以普及.随着微电子技术和微加工技术的发展,为微电极阵列的构筑提供了新的机遇.其中软刻蚀是一类微纳米加工技术的总称,包括微接触印刷、毛细微模塑、微转移模板、纳米转移印刷术等.

关键词： 微电极阵 软刻蚀法 自组装基元 电化学性质

作者: 张美宁

作者单位: 中国人民大学,中关村大街59号,100872

会议类型: 国内会议

会议名称: 国家自然科学基金委员会“可控自组装体系及其功能化”重大研究计划年度会议暨研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 163-164

在线出版日期: 2015-02-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）