AZO靶材的质量控制和溅射镀膜技术应用

摘要：

本文从AZO靶材的制备工艺流程出发,重点介绍了AZO靶材的成分、纯度、密度、电阻率和均匀性、邦定率和结合力等质量控制要点,分析了AZO靶材在玻璃溅射镀膜过程中遇到的辉光放电、掉渣、结瘤中毒、靶段移位、开裂或脱落等常见问题和预防措施,综述了AZO靶材质量控制和溅射镀膜之间的对应关系,为靶材的质量判定和优化提供参考.

关键词： 玻璃生产 溅射镀膜 陶瓷靶材 质量控制

作者: 温艳玲 庄志杰

作者单位: 基迈克材料科技有限公司 上海 200062

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年中国玻璃行业年会暨技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 127-134

在线出版日期: 2015-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）