金色Low-E玻璃脱膜问题的分析
本文对咸宁南玻节能自主研发的一款金色可钢单银Low-E玻璃的脱膜现象进行了分析，在排除了其他原因后，找到了脱膜的具体原因是由于沉积速率太高以及膜层过厚而导致的膜层应力增大，使薄膜破裂；并且针对性的提出了解决方法，以改善膜层间的结合力。降低靶材功率，同时降低走速，使Si№的沉积速率降低，提高膜层的致密度，以减少SiNx与NiCr层间的应力，增加结合力；减少最后一层SiNx的厚度，避免出现“龟裂”现象。120～128nm是一个临界点，膜层降到120nm就没有“龟裂”现象发生；对膜层进行退火处理，缓慢降温，释放薄膜的应力。
镀膜玻璃 脱膜问题 致密度性 膜层厚度
余华骏 江维 祝时坚
咸宁南玻节能玻璃有限公司 湖北咸宁437000
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135-138
2015-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）