浅析硅铝靶工艺气体流量对Low-E玻璃钢化前后玻面色差的影响

摘要：

本文通过实验,详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩/氮气比例时,Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化,指出为了生产高质量可钢化Low-E玻璃,在硅铝靶使用不同的溅射功率时,工艺气体流量氩／氮气比例选择40：60时，在各个溅射功率下使用表现都很好，是最佳选择。

关键词： 镀膜玻璃 镀膜工艺 气体流量 硅铝靶 玻面色差

作者: 郭明 杨建社 张瑞 吕哲虎

作者单位: 金堆城洛阳节能玻璃有限公司 洛阳市 471202

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年中国玻璃行业年会暨技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 144-150

在线出版日期: 2015-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）