平板玻璃氟掺杂SnO2薄膜制备工艺的研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法,以三氟乙酸、SnCl4为原料制备FTO溶胶,将制备的FTO溶胶采用超声喷雾热解法进行沉积镀膜.实验结果表明:对镀膜溶胶不同掺F的量进行性能分析,在F/Sn=30％～50％时薄膜可获得较好的光学性能及低的电阻;对不同的基板温度进行研究,在500～550℃时,薄膜结构为晶化充分的四方相多晶结构,薄膜表面致密无缺陷,方块电阻为30Ω/□.

关键词： 平板玻璃 氧化锡薄膜 制备工艺 氟掺杂

作者: 郭卫 郎明 司敏杰 田芳 高瞻

作者单位: 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 河南洛阳471000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014年中国玻璃行业年会暨技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 85-88

在线出版日期: 2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）