透明氧化锌膜的制备研究
透明导电薄膜(Transparent Conducting Oxide)作为一种新型的薄膜材料,具有广阔的应用前景和发展潜力.为了获得优异的透明导电薄膜,各种各样的透明导电薄膜不断涌现.本文综述了透明导电薄膜的发展历史、种类性能、研究及应用状况.重点介绍氧化锌透明导电薄膜的结构、性质、制备方法以及对制备出来的氧化锌透明导电薄膜利用XRD、AFM进行检测和表征,最后展望了氧化锌导电薄膜的发展方向.还要积极开发和提供优良的透明导电膜生产设备，改进工艺，提高产品质量和生产效率，降低成本。透明导电膜在目前玻璃深加工、电致变色玻璃、LED发光玻璃以及液晶显示器中都应用得十分广阔，同时在军工领域也具有广阔的应用前景。
透明导电膜 氧化锌薄膜 制备方法 生产设备
范亚军
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国内会议
杭州
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89-92
2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）