靶材质量对大面积镀膜生产的影响
真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一.靶材作为磁控溅射镀膜使用的大宗原材料,其质量对膜层性能有很大的影响,同时会影响到镀膜的生产效率和成本,对大面积玻璃镀膜企业有很大的影响.本文结合生产实际使用情况,将靶材对镀膜生产影响的主要特征参数,包括靶材的密度、晶粒尺寸、纯度、与衬管(背板)连接质量等因素进行了分析和研究,并在其参数控制方面给予相关建议.
玻璃生产 镀膜工艺 晶粒尺寸 靶材密度 参数控制
胡冰 王烁
天津南玻工程玻璃有限公司 天津 301700
国内会议
杭州
中文
148-153
2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）