石英玻璃基TiO<,2>膜的XPS研究

摘要：

用X射线光电子能谱(XPS)研究了不同热处理工艺条件下用溶胶凝胶法制备的石英玻璃基TiO<,2>膜的表面组成。根据XPS数据和S。Tanuma。提出的方法研究了膜厚的尺寸变化。结果表明：随着热处理温度的提高或者热处理时间的延长，TiO<,2>膜厚尺寸逐渐降低，膜表面的Si元素浓度逐渐增加，XPS可以有效地表征出TiO<,2>膜厚尺寸在10 nm范围内的变化。

关键词： XPS TiO<,2>膜 表面组成 热处理工艺

作者: 赵青南 余家国 赵修建

作者单位: 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届国际华厦无机固体化学和合成化学研讨会暨第七届全国无机固体化学和合成化学学术讨论会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 128-130

在线出版日期: 2000-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）