MEMS式热电堆红外探测器温度溯源研究
MEMS热电堆红外探测器是一种典型传感器,常作为均方根转换器、气体传感器、热流量计、辐射温度计的探测器件.本文使用黑体辐射源和半导体分析仪作为测量标准搭建一个测量平台,实现对热电堆红外探测器的性能参数的测量，即将黑体辐射源温度设定为227℃（接近500K），并稳定1h后开始进行测试。在测试平台上安装好被测热电堆探测器，同时打开水冷系统，通过固定不变的水温控制探测器冷端温度为恒定值。水箱中水的温度为22度。先后共测试了5个探测器，分别选自三种器件型号。其中，编号MT-1401探测器为单窗口厚滤光片器件；编号MT-1403探测器为双窗口薄滤光片器件；编号MT-1405为无滤光片器件。斩波器的参数由其控制器进行调节，使用安捷伦B1500A半导体特性分析仪测量探测器的I-V特性曲线和电压—时间(V-T)曲线及相应数值。探测器的电阻值由I-V曲线计算获得，探测器对黑体辐射温度的电压响应曲线由V-T曲线获得。对每只探测器进行三次测试，每次测试时间大于12s，结果取三次测量值的平均值进行计算分析。
红外探测器 性能参数 测量方法 黑体辐射源 半导体分析仪
姚敏 毛海央 郭芳
北京市计量检测科学研究院 中国科学院微电子研究所
国内会议
杭州
中文
162-168
2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）