薄膜温度传感器技术发展概述
随着航空航天动力装置燃烧温度不断提升,在高速高温气流与狭小空间条件下进行较高温度或热流测量,逐渐引起人们的重视,适应这种复杂测量条件薄膜测温技术得到了不断发展.本文通过分析薄膜温度传感器体积小、热动态响应时间短、灵敏度高、便于集成的技术特点,介绍了物理气相沉积和化学气相沉积等薄膜温度传感器制造工艺的发展,以及其在航空发动机热端部件表面温度测量、热流测量等领域的一些应用,并讨论了其发展方向.
薄膜温度传感器 制造工艺 温度测量 热流测量
李亚晋 王毅
中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京,100095
国内会议
杭州
中文
466-470
2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）