基于90nm COMS毫米波共面波导建模

摘要：

本文阐述了毫米波CMOS集成电路的关键技术之一,Si基共面波导(CPWs)的机理和等效电路模型.建立了基于硅衬底的标准90nmCMOS工艺的毫米波CPW模型,通过仿真和实验数据对比,由于高频测试环境的不稳定，在40GHz以上S11扰动比较大，整体上，在0~60GHz内，模型和测试数据一致，验证了模型和参数提取算法的准确性。

关键词： 半导体集成电路 毫米波 共面波导 建模仿真

作者: 洪阿灌 王翔 刘军 孙玲玲

作者单位: 杭州电子科技大学CAD研究所,浙江 杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 杭州电子科技大学第八届研究生IT创新学术论坛

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 74-77

在线出版日期: 2015-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）