化学气相狭缝沉积制备石墨烯
以甲烷为碳源,使用科晶OTF-1200X管式炉作为化学气相沉积(CVD)设备在1000℃、5.3Torr压力制备石墨烯薄膜,并利用扫描电镜和拉曼光谱分析等手段对石墨烯的形貌和结构进行了表征.主要研究了狭缝的使用和沉积时间的长短对石墨烯质量的影响,发现了使用狭缝沉积可以提高石墨烯质量的质量,提高石墨烯的单层性,在CH4:H2=15:1、沉积时间为10min条件下获得单层石墨烯,但获得的石墨烯尺寸较小.并通过观察沉积时间的不同可知,沉积时间越长,获得的石墨烯尺寸变大,但层数增多.
石墨烯薄膜 化学气相沉积 狭缝沉积 单层性
樊姝婧 张明瑜 谢翔旻 伍小波 谭瑞轩 黄启忠
中南大学粉末冶金国家重点实验室,长沙410083
国内会议
长沙
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2015-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）