不晶面上同质外延生长单晶金刚石
本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),在天然金刚石的(100)、(110)以及(111)晶面上进行了同质外延生长单晶金刚石的研究,分析了这三个晶面上同质外延生长特点.结果表明,不同的晶面上金刚石的生长速率和形貌显著不同.(110)晶面生长速率最快,表面由一系列大小不同的四面体组成,(100)晶面次之,呈现出排列规整的生长台阶,而(111)晶面生长速率最低,表面光滑平整,(100)和(111)的这种二维生长表面粗糙度明显小于(110)的一维生长表面,而这些特点与其生长模式密切相关.虽然在(111)晶面生长出了质量理想、表面平整的单晶金刚石,但是与(100)和(110)晶面外延生长的单晶金刚石相比,其质量还是较低.
单晶金刚石 同质外延生长 微波等离子体 化学气相沉积
吴超 马志斌 宋修曦 丁康俊 付秋明 王传新
武汉工程大学材料科学与工程学院,北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073
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2015-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）