HazOp診斷廠務供氣系統潛在危害-以某LED廠為例
LED属半导体组件,具有寿命长、低耗电量、低发热量、光颜色纯、高防震性、不易碎、不含汞、小型化、薄型、轻量化等特性,刚好符合现代绿色能源的特性而吸引多数企业投入该产业;LED的部分制程与半导体制程类似,制程过程中需有高温及大量的惰性、毒性、自燃、可燃性气体、强酸、强碱及有机化学品等.相较于已发展了40多年的半导体业懂得藉由各种管理手法来达到风险的适当控制,近10多年来才开始量产化的LED产业,对于如何控管气态、液态或固态化学品的储存、搬运、更换酸桶及气瓶、管路运送、制程反应、尾气处理等等可能发生的风险概念仍处于懵懵懂懂的阶段,因此对于制程流程中的可能潜在风险大多未进行通盘的检视,本研究藉由HazOp评估某LED厂厂务供气系统,讨论其可能存在的潜在风险,提出改善建议及分析风险效益,经由HazOp及LOPA评估后，厂务端氨气供气系统其设计于发生异常时，多能维持住产能不中断，另外于较为严重的事故发生率也可维持在1.0E-05，仍有三点建议事项：气体房采用防爆规格，但铁卷门的马达及其开关却未采防爆设计，破坏其防爆区域设计目的。亲水性的NH3若能采用水雾系统更能有效的防止NH3溢散。气体房若设置远程遮断，异常发生时厂务人员可快速停止NH3供应降低灾害。本计划藉由厂务端的氨气供气系统诊断作为一模板，希望将来于规划设置供应系统时，能依照此范例进行整体的评估采用更安全的设计提供同仁更安全的工作环境。
半导体制造厂 供气系统 风险评估 可操作性 故障诊断
孫裕青 陳俊瑜 陳俊勳
國立交通大學工學院產業安全與防災科技研究所 萬能科技大學設計學院 國立交通大學工學院
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2015-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）